진공펌프의 주요기술 발전 현황 : 1953-2003(Major advances in transfer pumps)

전문가 제언

□ 진공 기술은 저진공(1Torr)에서 극초고 진공(10-10Torr 이하)에 이르기까지 광범위한 산업분야에 응용되고 있으며, 특히 재료 및 표면 연구, 원자핵 물리 연구, 입자 가속기, 우주 실험, 반도체 및 최근의 나노기술에 이르기까지 광범위하게 사용되고 있다. 미국 Utah대학 Space Dynamics Laboratory의 Space Simulation Chamber의 경우 NASA의 우주 실험을 위해 Space Simulation Chamber 내의 온도는 -250~200℃의 극저온에서 냉각과 과열이 이뤄지고, 내부압력은 1x10-6Torr까지 유지하였다.

□ 지난 50여 년 간 펌프 이송 메커니즘에 관한 괄목할 기술 개발이 이뤄졌으며, 이 결과로 진공 펌프 기술도 많은 발전을 이룩하였다. 진공 펌프 산업은 비교적 중소 규모의 산업 분야로서 이들 산업의 발전은 다른 분야의 연관 산업의 발전과 경기 활성에 크게 영향을 받게 된다.

□ 특히 진공 펌프업계 기술 개발을 자극한 것은 미국의 경우 NASA의 우주 산업과 연관된 거대 프로젝트였으며, 이후 진공 기술은 원자핵물리, 반도체 산업 분야 등에서 10-7~10-10Torr 이하의 초고진공 및 극고 진공 기술을 실현하였다. 이를 위한 진공 펌프는 터보 분자 펌프, 크라이오(Cryo) 펌프, 이온 펌프 및 저온 냉각 펌프의 개량과 개발을 통하여 새로운 극저 진공 기술이 적용되었다.

□ 진공 펌프는 대기압 보다 낮은 압력 상태를 유지하기 위하여 기체로 채워진 진공 용기로부터 기체 분자를 제거하기 위한 것이므로, 진공 범위는 대기압으로부터 극고진공 10-10Torr 이하까지 매우 광범위하여 전 진공 영역에서 사용할 수 있는 진공 펌프는 아직 개발되지 않고 있다. 향후 과제는 보다 넓은 진공 범위 영역에 적용될 수 있는 진공 펌프의 개발이 요구되며, 진공펌프 선정 시엔 각 공정에 적합한 최대 진공도, 흡입 가스 량과 종류, 진공용적, 요구되는 진공도 도달시간, 펌프용량 등을 고려함으로서 펌프의 수명을 연장하고 최대 진공도를 유지할 수 있을 것이다.

저자

Hablanian, M. H.

자료유형

원문언어

영어

기업산업분류

화학·화공

연도

2003

권(호)

21(5)

잡지명

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum and Films

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

15~18

분석자

박*준

분석물

• 진공펌프의 주요기술 발전 현황.pdf [180,706 byte]

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