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반도체산업 성장 지속을 위한 환경, 건강, 안전실행의 핵심적인 역할(Environment, health, and safety performance plays a vital role in sustaining the growth of the semiconductor industry)

전문가 제언: □ 지난 25년 동안에 산업은 미국의 전반적인 경제성장률(3%~4%)을 훨씬 능가한 성장률(15%)을 자랑하고 있다. 이 급격한 성장률의 유지를 미래에도 확실히 하려면, 산업체는 자연자원을 효율적 사용, 환경에 대한 악영향의 최소화, 근로자와 그 지역공동체의 환경보전이 가장 중요하다.

□ 에너지 소비는 직접적으로 반도체 제조의 원가에 영향을 주며 간접적으로는 발전시설에서 발산하는 CO2방사를 통하여 기후의 변화에 영향을 미친다. 평균적으로 반도체 제조시설은 국제 SEMATECH의 세계 에너지 측정에 의하면 약 1억3천만 kWh/yr을 소비한다. 이것은 대략적으로 10,000 단독주택 가정에서 소비하는 에너지에 해당한다. 1999년부터 2001년까지 23개 제조시설을 위한 물의 사용에 근거하면, 8 inch 웨이퍼 제조시설에 하루에 평균 1.8백만 gallon의 물이 소비된다. 이것은 약 6,000 단독주택 가정의 매일 물 소비량에 해당된다.

□ 대학, 화학물질 공급자, 도구공급자 그리고 반도체산업은 이 중대한 문제에 협력하기로 서로 합의를 하였다. 지난 9년간에 산업체는 이 환경적 관심을 본격적으로 착수하는 몇 개의 상업적으로 이용할 수 있는 기술을 개발하는데 장족의 진보를 가져 왔다. 미국, 유럽, 일본, 대만 그리고 한국의 반도체 산업협회들로 구성된 세계 반도체 회의는 2010년의 PFC방출 목표를 1995년 수준에서 10% 감소하는 수준으로 정하고 절대적으로 달성하기로 했다.

□ 우리 한국의 반도체 산업도 선진국 수준으로 어떠한 품목에 있어서는 세계 시장에서 앞서고 있다. 우리들도 국제 SEMATECH의 환경, 안전, 건강 부서와 긴밀히 협력하여 에너지 절약, 물 절약, 웨이퍼 세척, PFC 방출 감소를 위하여 노력하고, 새 물질과 프로세스의 ESH 평가와 라이프 사이클 평가 등으로 차세대의 기술 도입이 적실히 필요하다고 본다.

저자: Miller, C.; Worth, W.
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