수용액으로부터 산화물 나노구조재료 합성

전문가 제언

○ 박막제조방법으로 CVD, 스퍼터링 등의 기상증착법이 LED, 태양전지재료 및 반도체, 전자재료 등의 제조에 사용되고 있으나 이들은 주로 평활한 면에 성막하는 방법이이다. 이에 반해 수용액을 이용한 액상석출법(LPD)은 평활한 면에서 대단히 복잡한 면까지 형체에 관계없이 매트릭스에 단상, 다층구조 및 경사구조 등의 다양한 조성으로 제어하면서 성막할 수 있고 또 에너지와 환경부하가 적은 특징도 있는 기술이므로 개발할 필요가 있다.

○ 금속염 수용액 중에 침적시켜 기판에 금속산화물을 성막하는 방법은 주로 Fluorocomplex 수용액과 붕산이나 Al을 혼합한 수용액에서 기판에 MOx 석출물이 치밀하게 석출되어 박리도 잘 안 되는 특징이 있으나 성막시간이 10시간 정도 장시간 소요되는 문제가 있어서 반응속도를 향상시킬 수 있는 기술을 연구할 필요가 있다.

○ 알칼리함유 그라스표면에 SiO2박막 코팅에서 H2SiF6와 H3BO3, 금속Al 혼합수용액에 기판을 침적하여 성막 시에 수용액 중 유리 HF를 중화시키기 위하여 물유리를 첨가하면 NaF와 SiO2가 생성된다. 이 과정애서 생성된 SiO2와 석출되는 SiO2와의 관계에 대한 논의가 필요하다고 생각된다.

○ 다층박막재료 제조는 (NH4)2TiF6와 H3BO3혼합수용액 중에서 침적된 기판에 TiO2를 성막한 후, 이 기판을 -FeOOH/NH4F-HF 및 H3BO3 수용액에 침적하여 -FeOOH박막을 성막하는 방법으로 적층박막을 제조하고 이 박막을 열처리하면 -Fe2O3, Fe3O4 박막으로 되는 기술로서 전자재료, 세라믹스재료, 형광재료 태양전지재료 등의 응용범위가 넓다고 생각된다. 특히 수용액 중의 박막 기판재료는 금속, 유리, 플라스틱, 세라믹스, 분체, 테이프 등 다양하므로 응용범위가 매우 넓다고 생각된다.

○ 현재 우리나라에서 LG이노텍 LED사업의 형광체 코팅, 현대자동차의 배기가스 세라믹필터의 Pt코팅, 태양전지회사의 전지재료의 투명산화물 코팅 등을 위한 다층박막재료 제조기술이 개발될 것으로 기대한다.

저자

S.Deki, M.Mizuhata

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2012

권(호)

63(2)

잡지명

表面技術

과학기술
표준분류

재료

페이지

75~81

분석자

황*길

분석물

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